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臺式 ICP光譜儀特點:1、射頻發(fā)生器的高壓供電回路,采用的電子技術(shù),淘汰了笨重的升壓變壓器和高頻阻流圈,采用功率閉環(huán)反饋技術(shù),控制精度于0.1% 2、全自動點火 氣路智能控制,實現(xiàn)軟件點火,更方便3.安全冷卻水保護(hù)、氬氣保護(hù)、過壓、過流、滅弧保護(hù)更安全4.輸出功率自動匹配調(diào)諧,功率參數(shù)軟件程序設(shè)定5.分光器內(nèi)充氬氣,使波長在180nm的硫和189nm的Sn得到很靈敏的效果
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